Röntgenreflektometrie

RöntgenreflektometrieRöntgenreflektometrie Röntgenreflektometrie (XRR) ist eine analytische Technik, die zur Untersuchung von dünnen Schichten und Grenzflächen eingesetzt wird. Sie basiert auf der Messung der Reflexion von Röntgenstrahlen an einer Probe. Bei der XRR wird eine Probe mit Röntgenstrahlen bestrahlt, die unter einem flachen Einfallswinkel auf die Probe treffen. Die reflektierten Röntgenstrahlen werden von einem Detektor aufgefangen und gemessen. Die Intensität der reflektierten Strahlung hängt von der Dichte und der Dicke der Schichten sowie von der Rauigkeit der Grenzflächen ab. Durch die Auswertung der gemessenen Reflexionsintensitäten können die Schichtdicken, die Dichte und die Rauigkeit der Grenzflächen bestimmt werden. XRR ist eine sehr empfindliche Technik, die Schichtdicken im Bereich von wenigen Ångström bis zu mehreren Mikrometern mit hoher Genauigkeit messen kann. XRR wird in vielen Bereichen eingesetzt, wie z.B. in der Halbleiterindustrie, der Beschichtungstechnik, der Materialforschung und der Biophysik. Sie ermöglicht die Untersuchung von Schichten und Grenzflächen unter verschiedenen Bedingungen, wie z.B. bei unterschiedlichen Temperaturen, Drücken und Umgebungen. Die Röntgenreflektometrie erfordert eine spezielle Ausrüstung, wie z.B. eine Röntgenquelle, einen hochauflösenden Detektor und eine präzise Probenhalterung. Die Messungen müssen unter kontrollierten Bedingungen durchgeführt werden, um eine hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. (XRR) ist eine analytische Technik, die zur Untersuchung von dünnen Schichten und Grenzflächen eingesetzt wird. Sie basiert auf der Messung der Reflexion von Röntgenstrahlen an einer Probe.

Bei der XRR wird eine Probe mit Röntgenstrahlen bestrahlt, die unter einem flachen Einfallswinkel auf die Probe treffen. Die reflektierten Röntgenstrahlen werden von einem Detektor aufgefangen und gemessen. Die Intensität der reflektierten Strahlung hängt von der Dichte und der Dicke der Schichten sowie von der Rauigkeit der Grenzflächen ab.

Durch die Auswertung der gemessenen Reflexionsintensitäten können die Schichtdicken, die Dichte und die Rauigkeit der Grenzflächen bestimmt werden. XRR ist eine sehr empfindliche Technik, die Schichtdicken im Bereich von wenigen Ångström bis zu mehreren Mikrometern mit hoher Genauigkeit messen kann.

XRR wird in vielen Bereichen eingesetzt, wie z.B. in der Halbleiterindustrie, der Beschichtungstechnik, der Materialforschung und der Biophysik. Sie ermöglicht die Untersuchung von Schichten und Grenzflächen unter verschiedenen Bedingungen, wie z.B. bei unterschiedlichen Temperaturen, Drücken und Umgebungen.

Die Röntgenreflektometrie erfordert eine spezielle Ausrüstung, wie z.B. eine Röntgenquelle, einen hochauflösenden Detektor und eine präzise Probenhalterung. Die Messungen müssen unter kontrollierten Bedingungen durchgeführt werden, um eine hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Ergebnisse zu gewährleisten.