Ellipsometrie

EllipsometrieEllipsometrie Ellipsometrie ist eine optische Messtechnik, die zur Bestimmung der optischen Eigenschaften von dünnen Schichten und Oberflächen eingesetzt wird. Sie basiert auf der Messung der Polarisationseigenschaften von Licht, das an einer Probe reflektiert wird. Bei der Ellipsometrie wird monochromatisches oder breitbandiges Licht auf die Probe gerichtet und die Polarisationsänderung des reflektierten Lichts gemessen. Die Polarisationsänderung hängt von den optischen Eigenschaften der Probe, wie Brechungsindex, Absorptionskoeffizient und Schichtdicke, ab. Durch die Messung der Polarisationsänderung können diese Eigenschaften bestimmt werden. Die Ellipsometrie ist eine berührungslose und zerstörungsfreie Messtechnik, die in vielen Bereichen eingesetzt wird, wie z.B. in der Halbleiterindustrie, der Beschichtungstechnik, der Biotechnologie und der Medizin. Sie ermöglicht die Messung von Schichtdicken im Bereich von wenigen Nanometern bis zu mehreren Mikrometern und die Bestimmung von Brechungsindizes und Absorptionskoeffizienten mit hoher Genauigkeit. Es gibt verschiedene Arten von Ellipsometern, wie z.B. Null-Ellipsometer, Spektroskopische Ellipsometer und Bildgebende Ellipsometer, die sich in ihrer Messmethode und ihrer Anwendung unterscheiden. Die Wahl des geeigneten Ellipsometers hängt von der spezifischen Anwendung und den Anforderungen an die Messung ab. ist eine optische Messtechnik, die zur Bestimmung der optischen Eigenschaften von dünnen Schichten und Oberflächen eingesetzt wird. Sie basiert auf der Messung der Polarisationseigenschaften von Licht, das an einer Probe reflektiert wird.

Bei der Ellipsometrie wird monochromatisches oder breitbandiges Licht auf die Probe gerichtet und die Polarisationsänderung des reflektierten Lichts gemessen. Die Polarisationsänderung hängt von den optischen Eigenschaften der Probe, wie Brechungsindex, Absorptionskoeffizient und Schichtdicke, ab. Durch die Messung der Polarisationsänderung können diese Eigenschaften bestimmt werden.

Die Ellipsometrie ist eine berührungslose und zerstörungsfreie Messtechnik, die in vielen Bereichen eingesetzt wird, wie z.B. in der Halbleiterindustrie, der Beschichtungstechnik, der Biotechnologie und der Medizin. Sie ermöglicht die Messung von Schichtdicken im Bereich von wenigen Nanometern bis zu mehreren Mikrometern und die Bestimmung von Brechungsindizes und Absorptionskoeffizienten mit hoher Genauigkeit.

Es gibt verschiedene Arten von Ellipsometern, wie z.B. Null-Ellipsometer, Spektroskopische Ellipsometer und Bildgebende Ellipsometer, die sich in ihrer Messmethode und ihrer Anwendung unterscheiden. Die Wahl des geeigneten Ellipsometers hängt von der spezifischen Anwendung und den Anforderungen an die Messung ab.